Detalii proiect
Patru dintre cele mai prestigioase unități/centre române de cercetare și dezvoltare (Universitatea POLITEHNICA din Bucuresti, Institutul National de Cercetare Dezvoltare in Electrotehnica ICPE-CA, Institutul National de Cercetare Dezvoltare in Mecatronca si Tehnica Masurarii si Comitetlu Electrotehnic Roman) au intenția de a cerceta, dezvolta, construi folosind tehnologii de microfabricație și de a caracteriza noi tipuri de aplicații MEMS magnetice precum actuator magnetic bidirecțional de tip grindă în consolă (1), un sistem de poziționare al micro oglinzilor, ce poate devia fasciculul de lumină pe o axă (2) și un sistem de poziționare al micro oglinzilor ce poate devia fasciculul de lumină pe două axe (3), fiind folosite în construcția sistemelor optice ce intră în alcătuirea posturilor de procesare laser. Acționarea va fi realizată prin interacțiunea dintre un magnet permanent și o bobină, în două cazuri(unul cu magnet fix și bobină mobilă – un actuator electromagnetic – iar un altul cu bobină mobilă si magnet fix – actuator electrodinamic). Beneficiarul acestei activități de cercetare este o întreprindere mică (S.C. Apel Laser S.R.l.) ce activează în domeniul sistemelor laser; acești microactuatori vor înlocui scannerele convenționale.
Alte obiective principale ar fi crearea, microprocesarea magneților permanenți (4), folosind tehnici noi de galvanizare precum baie electrochimică situată într-un câmp magnetic extern.
Tehnicile de microprelucrare dezvoltate permit realizarea componentelor de magneți permanenti sub formă de film gros, pentru a fi integrate în dispozitive MEMS magnetice.
Rețele de magneți permanenți, având dimensiuni de la 25 µm până la 300 µm, vor fi dezvoltate în forme bine definite la scara micronilor. Principala metodă de microprocesare va fi tehnologia LIGA, ce combină litografia UV în straturi groase de fotorezist SU8, cu electrodepuneri de metale și aliaje.
Un studiu va fi realizat pentru analiza proprietăților mecanice a fotorezistului SU8, realizat cu diverși parametrii tehnologici, pentru a stabili tehnici de control pentru aceste proprietăți. O serie de structuri de test vor fi dezvoltate și testate folosind vibrometria laser. Proiectul va aduce un plus de cunoștințe referitoare la realizarea structurilor tridimensionale, incluzând soluții pentru alinierea micro-componentelor. Diferite soluții constructive pentru orientarea micro-componentelor în timpul asamblării sunt studiate, din punct de vedere teoretic, prin simulare folosind tehnici FEM, dar și experimental. Un set de micro-componente ce conțin soluțiile propuse sunt fabricate în acest proiect iar studiul asupra micro-asamblărilor lor este realizată folosind sisteme de precizie înaltă de poziționare existente în cadrul laboratoarelor partenerilor.
